無錫冠亞智能裝備
高精度溫控系統(tǒng)源頭工廠
高端非標定制溫度控制解決方案提供商
高低溫循環(huán)測試機/熱流儀
product & project
壓縮空?進??體快速溫變測試機，內置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，自動調節(jié)輸出?體的溫度。
熱流儀AET系列
壓縮空?進??體快速溫變測試機，內置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，自動調節(jié)輸出?體的溫度。
AET系列
| 型號 | AET-4025 AET-4025C | AET-4050 AET-4050C | AET-4095W AET-4095WC | AET-7025 AET-7025C | AET-7050W AET-7050WC | AET-7095W AET-7095WC |
| 溫度范圍 | -40℃～250℃ | -75℃～250℃ | ||||
| 控溫精度 | 氣體出口控溫士0.1°C,遠距離工藝過程溫度控溫精度士0.5°C可選擇控制出口氣體溫度和工藝目標過程溫度 | |||||
| 升級溫速率 | 設備出口氣體溫度升降溫速率大于30°C/min,可做梯度升降溫 | |||||
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量<0.1um 空氣溫濕度:5°C-32℃ 0-50%RH 壓力4bar~8bar | |||||
| 空氣處理 | 22m3/h | 50m3/h | 95m3/h | 22m3/h | 50m3/h | 95m3/h |
| 節(jié)流方式 | 制冷系統(tǒng)采用電子膨脹閥節(jié)流,精準控制冷量 | |||||
| 控制器 | PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議 | |||||
| 顯示記錄 | 7寸彩色觸摸屏,可顯示氣體溫度、壓力、流量,制冷系統(tǒng)壓力溫度 | |||||
| 過程控溫 | 自創(chuàng)無模型自建樹算法與一般抗滯后串級算法相結合,控制工藝過程溫度 | |||||
| 尺寸 cm | 43*46*112 | 52*57*132 | 60*63*160 | 54*69*112 | 65*85*132 | 75*95*160 |
| 備注 | 后綴W代表水冷后綴c代表氣體循環(huán)利用 | |||||
產品優(yōu)勢：
廣泛應用于:芯片，微電子器件，集成電路、閃存Flash、傳感器、小型模塊組件光通訊、航空航天新材料等性能分析、高低溫溫變測試、溫度沖擊測試、失效分析等可靠性試驗;
-75~+250℃控溫范圍
±0.1℃控溫精度
可定制