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      高精度溫控系統(tǒng)源頭工廠

      高端非標(biāo)定制溫度控制解決方案提供商

      Chiller 直冷型

      半导体Chiller 直冷型

      product & project

      将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进⼊⽬标控制元件(换热器)换热,从⽽使⽬标控制对象降温。具备换热能⼒相对于流体(⽓体)输送⼊换热器换热能⼒更⾼⼀般在5倍以上,这样特别适⽤于换热器换热⾯积⼩,但是换热量⼤的运⽤场所。也可以如⽓体捕集运⽤,将制冷剂直接通⼊捕集器蒸发,通过捕集器表⾯冷凝效应,迅速捕集空间中的⽓体。

      Chiller 直冷型(images 2)

      Chiller 直冷型

      温度控制范围:-150℃ 至 -15℃

      适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温

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      -40℃~-15℃
      型号ZLJ-41ZLJ-43ZLJ-46
      ZLJ-41WZLJ-43WZLJ-46W
      温度范围 -40℃~-15℃
      控温精度±1℃(出口温度稳态)
      制冷AT-35℃0.5kw1.6kw3.2kw
      制冷剂R404A 可选配R507C R448
      高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
      尺寸320*400*600800*700*600450*700*1350
      断路器6A6A16A
      -80℃~-50℃
      型号ZLJ-81ZLJ-83ZLJ-86
      ZLJ-81WZLJ-83WZLJ-86W
      温度范围 -80℃~-50℃
      控温精度±1℃(出口温度稳态)
      制冷AT-70℃0.4kw1.3kw2.5kw
      制冷剂R404A/R508B
      高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
      尺寸320*630*650950*1000*800550*1000*1750
      断路器10A16A25A
      -150℃~-110℃
      型号SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
      温度范围-150℃~-110℃
      控温精度±5℃(出口温度稳态)
      制冷AT-120℃3KW4KW6KW11KW
      制冷AT-135℃2.5KW3.3KW5KW9KW
      制冷剂LNEYA -150混合制冷剂
      尺寸750*750*1750750*750*1750950*1000*20501300*2000*3500
      断路器40A55A65A100A

      产品优势:

      -40~-100℃控温范围
      ±5℃控温精度
      5000+年产量
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