無錫冠亞智能裝備
高精度溫控系統(tǒng)源頭工廠
高端非標(biāo)定制溫度控制解決方案提供商
真空控溫卡盤Chuck
product & project
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標(biāo)定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷。
快速溫變控溫卡盤
該產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化，精準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機(jī)，避免了液氮、?氧化碳等的消耗，每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。
系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運(yùn)?于RF器件和?密度功率器件測試，也可以運(yùn)?于實驗室平板快速冷卻（血漿、?物制品、電池）等平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式，相對液冷?式?幅度提?了換熱效率，提?單位?積平板的換熱功率
真空控溫卡盤Chuck
| 溫度范圍 | -70℃~200℃（可以定制各種溫度范圍） |
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ |
| 加熱速率 | -55℃至+25℃：12 分鐘 -40℃至+25℃：10 分鐘 +25℃至+150℃：20 分鐘 +25℃至+200℃：28 分鐘 +25℃至+300℃：40 分鐘 |
| 冷卻速率 | +150℃至+25℃：25 分鐘 +200℃至+25℃：30 分鐘 +300℃至+25℃：40 分鐘 +25℃至0℃：15 分鐘 +25℃至-40℃：35 分鐘 +25℃至-55℃：65 分鐘 |
| 冷卻方式 | 直冷系統(tǒng)/液冷系統(tǒng)/氣冷系統(tǒng) |
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FII調(diào)節(jié)控溫 |
| 晶圓載板 | 鍍鎳(金/非導(dǎo)電)，與卡盤柔性連接，方便更換，載板平面度3μm≤10μm |
| 晶圓吸附類型 | 真空吸附 |
| 卡盤尺寸 | φ330*58mm |
| 電源220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
| 通訊方式 | ModbusRTU協(xié)議,RS485接口，選配CAN通信總線、以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 |
產(chǎn)品優(yōu)勢：
系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運(yùn)?于RF器件和?密度功率器件測試，也可以運(yùn)?于實驗室平板快速冷卻等平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式，相對液冷?式?幅度提?了換熱效率，提?單位?積平板的換熱功率。
-75~225℃控溫范圍
±1℃控溫精度