帕爾貼Chiller

product & project

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；

基于經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

對(duì)于靜電卡盤(pán)(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類(lèi)型的刻蝕工藝；

快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求；

高效節(jié)能，節(jié)省空間，同時(shí)還能夠穩(wěn)定的控制溫度。

25000㎡

生產(chǎn)車(chē)間

超3億

年產(chǎn)值

16000+

服務(wù)客戶(hù)提供控溫解決方案

LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制-20℃90℃
快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求基于經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，lneya帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制。對(duì)于靜電卡盤(pán)(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類(lèi)型的刻蝕工藝。高效節(jié)能，節(jié)省空間，同時(shí)還能夠穩(wěn)定的控制溫度

LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER有五款款型號(hào)可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制

重要功能和優(yōu)勢(shì)
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導(dǎo)熱液填充量
·低能耗，沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)，同時(shí)只有在有負(fù)載時(shí)輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時(shí)，冷熱部件沒(méi)有與導(dǎo)熱液直接接觸
·動(dòng)態(tài)控溫，精準(zhǔn)控制過(guò)程溫度，快速溫度響應(yīng)
·溫度漂移保護(hù)功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

Chiller高精度冷熱循環(huán)器整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空?中?份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫?動(dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)?循環(huán)系統(tǒng)。?錫冠亞定制7英?彩?觸摸屏，溫度曲線顯?\EXCEL數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

• 40℃以?xún)?nèi)加熱?式采?壓縮機(jī)熱?加熱。
• Chiller循環(huán)系統(tǒng)采?全密閉設(shè)計(jì)、采?磁?驅(qū)動(dòng)泵。
• Chiller100%氦檢測(cè)，100%安規(guī)檢測(cè)，確保安全可靠。
• chiller100%經(jīng)過(guò)24?時(shí)連續(xù)運(yùn)?拷機(jī)。

-20~+90控溫范圍

±0.1℃控溫精度

5000+年產(chǎn)量