高精度溫控系統(tǒng)源頭工廠
高端非標(biāo)定制溫度控制解決方案提供商
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新型直冷機(jī)適用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)中心、新能源等需要高效、緊湊、可靠且精確散熱的行業(yè),尤其是在功率密度高、空間受限且對(duì)溫度敏感的領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢(shì)。新型直冷機(jī)無(wú)二次換熱,相比于傳統(tǒng)液冷設(shè)備,減少二次換熱帶來(lái)的傳熱損失,提升能效30%以上。新型直冷機(jī)能夠提供純液態(tài)的換熱介質(zhì),相比于傳統(tǒng)直冷機(jī)氣液兩相混合的換熱介質(zhì),新型直冷機(jī)充分利用制冷劑的潛熱換熱,換熱密度大幅提高,所需的換熱面積減少,能夠滿(mǎn)足半導(dǎo)體等行業(yè)高功率密度的需求。新型直冷機(jī)具備多路供液的能力,可精確控制每個(gè)支路的制冷量,滿(mǎn)足各
支路的控溫需求。新型直冷機(jī)采用PT100高精度溫度傳感器和PID智能控制系統(tǒng),溫度誤差范圍極小,控溫精確可靠。
特點(diǎn)一
適?于高放熱量控溫運(yùn)?,同流量?況下相對(duì)于導(dǎo)熱油換熱控溫傳熱效率5倍以上
特點(diǎn)二
?臺(tái)ZLTZ控溫機(jī)組帶多個(gè)ESC Chuck控制不同的溫度
特點(diǎn)三
適?于高吸熱、高均勻性控溫運(yùn)?,更換冷板時(shí),制冷劑可?動(dòng)回收
特點(diǎn)四
Chuck200℃恒溫控溫時(shí),制冷系統(tǒng)供應(yīng)冷量,設(shè)備可正常?時(shí)間運(yùn)?
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| 型號(hào) | ZLTZ-3 ZLTZ-3W | ZLTZ-6 ZLTZ-6W | ZLTZ-10 ZLTZ-10W | ZLTZ-15W | |
| 溫度范圍 | -10℃ ~25℃ | ||||
| 制冷量 | 0℃ | 8.1kW | 16.25kW | 28.5kW | 40.2kW |
| -10℃ | 5.48kW | 11kW | 19.35kW | 26.6kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ28 | φ28 |
| 回口 | φ20 | φ20 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4m3/h | 6.2m3/h | 10m3/h |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | |
| 型號(hào) | ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W | ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W | ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W | ZLTZ4-15W | |
| 溫度范圍 | -40℃ ~20℃ | ||||
| 制冷量 | -10℃ | 5.2kW | 11.15kW | 18.4kW | 26.3kW |
| -20℃ | 3.47kW | 7.41kW | 12.3kW | 18.35kW | |
| -30℃ | 2.24kW | 4.81kW | 7.92kW | 11.8kW | |
| -40℃ | 1.36kW | 2.95kW | 4.7kW | 5.83kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4.2m3/h | 5.3m3/h | 6.2m3/h |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | |
| 型號(hào) | ZLTZ8-3 ZLTZ8-3W | ZLTZ8-6 ZLTZ8-6W | ZLTZ8-10 ZLTZ8-10W | ZLTZ8-15W | |
| 溫度范圍 | -80℃~ -30℃ | ||||
| 制冷量 | -30℃ | ||||
| -40℃ | 6.9kW | 14.8kW | 24.4kW | 36.7kW | |
| -60℃ | 3.3kW | 7.1kW | 12kW | 17.4kW | |
| -75℃ | 1.65kW | 3.55kW | 6kW | 8.7kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2.7m3/h | 5.3m3/h | 6.68m3/h | 9.3m3/h |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | |
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
Chiller 直冷型適用于半導(dǎo)體晶圓廠的刻蝕、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積工藝制程,對(duì)ETCH、CVD、PVD制程設(shè)備的反應(yīng)腔體進(jìn)行精確控溫