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  • 半導體Chiller設備的面向半導體制造過程的解決方案

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    在半導體制造過程中，單一工藝環(huán)節(jié)往往涉及多個溫控點，且各溫控點的需求存在差異。半導體 Chiller 設備通過模塊化設計與協(xié)同控制邏輯，實現(xiàn)了對多個溫控目標的準確管理，為復雜工藝場景提供了溫度解決方案

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