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卡盤用FLTZ半導(dǎo)體Chiller如何選型？8寸與12寸卡盤控溫說明

2026 年 6 月 5 日 50

卡盤用FLTZ半導(dǎo)體Chiller常用于晶圓針測(cè)、刻蝕、溫度循環(huán)測(cè)試和相關(guān)半導(dǎo)體工藝。選型時(shí)建議先確認(rèn)卡盤尺寸、溫度范圍和控溫精度。常見卡盤尺寸包括8寸和12寸，不同尺寸對(duì)應(yīng)不同換熱面積、熱負(fù)載和介質(zhì)循環(huán)需求。

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