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卡盤用Chiller的溫度范圍、介質(zhì)選擇與出口控溫精度說明

2026 年 6 月 5 日 58

卡盤用Chiller在半導(dǎo)體測試和晶圓工藝中應(yīng)用較多，選型時需要重點關(guān)注溫度范圍、傳熱介質(zhì)、出口控溫精度和卡盤端溫度表現(xiàn)。部分卡盤應(yīng)用會使用氟化液、二甲基硅油或其他介質(zhì)，不同介質(zhì)在溫區(qū)、流動性、清洗維護和材料兼容性方面存在差異。

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