高精度溫控系統(tǒng)源頭工廠
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CHILLER 制冷加热一体化设备整合制冷、加热两大功能,无需额外配置独立热源或冷源,实现单设备完成温度升降与恒温控制。旗下全系列产品依托热气加热、变频控温、动态算法等技术,覆盖多温区、多介质场景,广泛应用于精密制造、半导体、新能源等领域。本文综述产品架构、核心功能与应用特点。

不同载体的温控模式,决定一体化设备的选型方向。
| 控温对象 | 重点参考方向 |
| 循环温控卡盘 | 冷热频繁切换、稳态恒温 |
| 高低温测试台 | 大跨度温区、线性温变速率 |
| 制程冷板 | 持续恒温运行 |
| 清洗机组 | 常温恒温、介质专用 |
| 特种工艺腔体 | 高温升温、低损耗要求 |
制冷加热一体化设备适配三类主流流程:一是长期恒温,仅做小幅温度补偿;二是规律性高低温循环,冷热模式反复切换;三是单向升温 / 降温的固定工况。设备的模式切换响应速度、功率匹配度为选型核心参考点。
| 机型系列 | 加热方式 | 核心适配工况 |
| —- | —- |
| FLTZ 常规系列 | 压缩机热气加热 | 常规恒温、小幅温度补偿 |
| 常温高精度系列 | 热气加热 | 精密恒温、低频率温变 |
| FLTZ 高低温系列 | 热气 + 辅助加热 | 高低温循环测试 |
| FLTZH 高温系列 | 专用加热系统 | 高温制程、单向升温 |
| 多通道系列 | 独立冷热控制 | 多工位不同温区并行 |

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