FLTZ 多介质机型可兼容 DI 水、乙二醇溶液、氟化液等多种循环介质，介质管理包含选型、加注、检测、更换、管路清洗等全流程。规范的介质管理，可保障设备运行稳定、延长部件使用寿命，本文梳理全流程管理规范。

一、确认控温对象

不同温控载体，决定介质选用与管理标准。

控温对象	重点参考方向
半导体制程设备	介质电导率、洁净度管控
高低温测试工装	介质冰点、粘度定期检测
通用冷却机组	介质浓度、常规损耗检查
精密仪器	低析出介质、化学稳定性监测

二、确认应用工艺流程

根据运行温区、洁净等级、运行时长制定管理周期。常温纯水系统检测周期可适当延长；高低温混合介质、高价值氟化液需缩短检测周期。24 小时连续运行设备，介质老化速度更快，需加大抽检频次；间歇使用设备可按季度开展全面检测。

三、核对核心技术参数

介质管理需重点核查参数：

1. 介质类型：区分纯水、防冻液、氟化液等；
2. 适用温区：冰点、沸点匹配工艺温度；
3. 电导率 / 浓度：常规检测指标；
4. 兼容材质：介质与管路、密封件匹配性；
5. 更换周期：结合工况设定更换时间。

四、匹配对应机型

按介质兼容能力划分管理机型

机型分类	适用介质与管理要点
水溶液机型	DI 水、普通纯水，重点管控洁净度与电导率
低温混合液机型	乙二醇溶液，定期检测浓度与冰点
氟化液专用机型	各类氟化液，注重回收与过滤
全介质通用机型	多介质切换，更换前彻底清洗管路

五、介质管理注意事项

1. 不同介质严禁直接混用，切换介质必须完成管路吹扫清洗；
2. 按照工况温度选择对应冰点的介质，避免低温冻结；
3. 储存、加注介质保持洁净，防止杂质带入系统；
4. 介质指标不达标的情况下，及时过滤或整体更换。

六、常见问题 FAQ

1. 同一台设备可以交替使用多种介质吗？完成彻底吹扫清洗后，可切换不同介质。
2. 乙二醇溶液需要多久检测一次浓度？连续运行工况建议每月检测一次。
3. DI 水主要监测哪些指标？重点监测电导率与颗粒物含量。
4. 废弃介质该如何处理？按照当地要求统一收集处置。