FLTZ 设备广泛应用于量产产线，多数场景需要 24 小时不间断运行。针对连续运行设备，需建立标准化巡检与定期保养体系，提前排查隐患、降低停机概率。本文划分巡检周期、明确保养项目与执行规范。

一、确认控温对象

不同负载与工况，巡检侧重点有所区别。

控温对象	重点参考方向
高负载冷板	制冷系统、泵体温度与噪音巡检
晶圆测试卡盘	温度参数、介质压力实时监控
多工位模组	各支路流量、分液均匀性检查
高低温循环工装	冷热切换部件、阀门状态检查

二、确认应用工艺流程

量产产线无停机窗口，巡检以不停机目视、数据查看为主；季度、年度保养可结合产线计划性停机开展。高负载、宽温区连续运行设备，部件损耗相对更快，保养周期适当缩短；常规恒温工况可沿用标准周期。

三、核对核心技术参数

日常巡检需记录监控参数：

1. 进出口温度、压力：判断温控与介质循环状态；
2. 设备运行电流：反映负载变化；
3. 介质液位：判断损耗与泄漏；
4. 风机、泵体运行状态：噪音、震动观测；
5. 报警历史记录：排查隐性故障。

四、匹配对应机型

按运行工况划分保养机型

机型分类	巡检保养侧重
标准恒温机型	常规参数、液位、基础部件巡检
宽温区循环机型	冷热切换组件、阀门重点保养
高负载机型	压缩机、循环泵重点检测
变频系列机型	变频模块、运行频率监测

五、巡检与保养注意事项

1. 日常巡检以查看系统数据、外观状态为主，不停机作业；
2. 计划性停机保养，提前排空介质、泄压后再拆解部件；
3. 连续运行设备不要随意修改运行参数；
4. 每次保养完成后，试运行一段时间再恢复量产。

六、常见问题 FAQ

1. 24 小时运行设备多久做一次全面保养？常规工况建议每季度开展一次全面保养。
2. 运行中出现轻微噪音需要停机吗？记录状态持续观察，异常增大再停机排查。
3. 可以在设备运行时清理表面灰尘吗？远离电气与运动部件，做好防护即可。
4. 历史报警记录需要定期查看吗？建议每日查看，提前排查隐性问题。